等倾干涉分段法求取研磨面平尺平面度误差的测量与计算  

作　　者：张泰昌 

出　　处：《计测技术》1991年第4期23-26,共4页Metrology & Measurement Technology

关 键 词：等倾干涉法 平尺 不平度 误差 测量 

分 类 号：TG83[金属学及工艺—公差测量技术]