低温下压阻式压力传感器性能的实验研究  

Experimental Study On Performance Of Pressure Transducer At Low Temperature

作　　者：孙淑凤[1] 吴裕远[2] 赵荣义[1] 

机构地区：[1]清华大学建筑学院建筑技术科学系,100084 [2]西安交通大学能源与动力工程学院,710049

出　　处：《低温与超导》2001年第3期30-33,共4页Cryogenics and Superconductivity

摘　　要：通过实验对压力传感器的温度效应进行了研究。结果表明 ,当温度在低温范围内变化时 ,压力传感器的零点输出有较大的变化 ,但输出特性仍保持良好的线性 ;灵敏系数随温度的升高而减小。The performance of pressure transducers was conducted experimentally at low temperature. The results shows that the zero-output of pressure transducers will decrease with the decreasing of temperature while the output performance remains good linearity, and the sensitivity of transducers will decrease with the increasing of temperature.

关 键 词：压阻式 压力传感器 零点输出 输出特性 灵敏系数 压力测量 温度效应 低温 

分 类 号：TH812[机械工程—仪器科学与技术] TP212.1[机械工程—精密仪器及机械]