SO_2气体传感器的新进展  

Development of SO_2 gas sensor

作　　者：魏培永[1] 韩建强 

机构地区：[1]西安交通大学微电子工程系,陕西西安710049 [2]航天十一研究所,陕西西安710100

出　　处：《传感器技术》2001年第3期1-3,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：主要介绍了国内外当前SO2 气体传感器的研究现状及其发展趋势 ,并着重介绍了声表面波 (SAW )SO2The present status and future trend of SO 2 gas sensor and the application prospects for SAW SO 2 gas sensors are introduced.

关 键 词：气体传感器 声表面波 二氧化硫 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]