MMI阵列波导光栅复用/解复用器的研制  

Study on MMI Arrayed Waveguide Grating MUX/DMUX

作　　者：马慧莲[1] 江晓清 杨建义[1] 王明华[1] 余金中 

机构地区：[1]浙江大学信电系光电子研究所,杭州310027 [2]集成光电子学国家重点实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2001年第7期919-923,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金 (696770 12 );国家重点基础研究发展规划 (G19990 3 3 10 4);集成光电子学国家重点联合实验室资助项目

摘　　要：详细分析了基于自镜像效应的 MMI DMUX器件的基本工作原理 ,在此基础上 ,在 SOI材料上完成了对 8信道 MMI DMU X的具体设计 .该器件的输入、输出单模波导采用 Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计 ,最后获得了当输入、输出单模波导宽度为 5 μm,SIE多模波导宽度和长度分别为 72 μm和 6 313.4μm时 ,该器件对8信道波长的隔离度均在 35 d B以上 ,且理论传输损耗 <0 .18d B.MMI MUX/DMUX is theoretically analyzed based on the self imaging effect (SIE) in the multimode waveguide.An 8 channel wavelength DMUX on SOI Structure is designed.The input and output single mode waveguides are optimized according to the theory of large single mode rib waveguides by R A Soref.When the width of the single mode rib waveguide is 5μm and the optimum width and length of the SIE waveguide are 72μm and 6313 4μm respectively for 8 channel wave length devices,the wavelength isolation is 35dB,theoretical propagation loss is less than 0 18dB.

关 键 词：阵列波导光栅 复用/解复用器 多模干涉 有限差分光束传输法 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]