超分辨在共焦三维形貌检测术中的应用  

Super-Resolution in 3-D Confocal Surface Profilometry

作　　者：邓小强[1] 刘力[1] 杨莉松[1] 王桂英[1] 徐至展[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

出　　处：《光学学报》2001年第7期853-856,共4页Acta Optica Sinica

基　　金：国家自然科学重点基金 (6 96 370 30 );面上基金(6 97770 0 4)资助课题

摘　　要：通过对共焦三维形貌检测术的分析 ,根据超分辨理论 ,在共焦系统中加入环形光瞳滤波器 ,以期延长系统的动态检测范围 ,并提高系统的横向分辨率。理论和实验结果表明该方法在适当牺牲轴向分辨率的条件下 ,能有效地延长系统的动态检测范围 。Based on super-resolution theory, the 3-D confocal surface profilometry and annular pupil filter are combined for analyzing the property of the 3-D profilometry. The results of computer simulation and experiment prove that this method can explore the axial dynamic range and improve transversal resolution of 3-D profilometry at decreasing axial resolution.

关 键 词：共焦三维形貌检测术 超分辨 环形光瞳滤波器 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]