紫外光辐照清洗带膜MCP的工艺研究  被引量:2

CLEANING OF FILMED MICROCHANNEL PLATE BY ULTRAVIOLET RADIATION

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作  者:闫金良[1] 赵银女[1] 

机构地区:[1]武警学院基础部

出  处:《应用光学》1998年第6期38-43,19,共7页Journal of Applied Optics

摘  要:介绍微通道板(MCP)防离子反馈膜在Ⅲ代微光像增强器中的作用,指出微通道板防离子反馈膜的制备工艺对微通道板电性能的影响,提出清洗带膜微通道板的工艺方案。This paper introduces the function of ion barrier film at the input of MCP in the third generation image intensifier.The effect of film forming technology on the MCP’s electric characteristics is described.A cleaning scheme of filmed MCP is suggested,and some electric performance parameters of filmed MCP before and after cleaning are measured.

关 键 词:带膜微通道板 紫外辐射 Ⅲ代微光像增强器 防离子反馈膜 制备工艺 

分 类 号:TN144.055[电子电信—物理电子学]

 

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