利用场发射扫描电镜的低电压高性能进行材料表征  

Materials characterization by using field emission scanning electron microscope

作　　者：闫允杰[1] 唐国翌[1] 

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室,北京100084

出　　处：《电子显微学报》2001年第4期275-278,共4页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：场发射扫描电子显微镜 (FESEM)是一种高分辨扫描电镜 ,在材料分析中得到广泛应用。尤其是良好的低压高空间分辨性能和低压下良好的SE像相互结合使用 。Field emission scanning electron microscope (FESEM) is a kind of high resolution scanning electron microscope. It has been widely used in material research, because of its enhanced capability of high spatial resolution element analysis and high quality image at low accelerate voltage.

关 键 词：场发射 CNT FESEM 材料分析 低电压高性能 发射电流 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]