背面直接取样结构电光取样的空间分辨率  

SPATIAL RESOLUTION OF ELECTROOPTIC SAMPLING WITH BACK-DIRECT SAMPLING STRUCTURE

作　　者：贾刚[1] 陈占国[1] 曹杰[1] 衣茂斌[1] 孙伟[1] 高鼎三[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室

出　　处：《红外与毫米波学报》2001年第2期123-125,共3页Journal of Infrared and Millimeter Waves

基　　金：国家自然科学基金 !(编号 696760 2 5 )资助项目&&

摘　　要：介绍了电光取样系统空间分辨率的测量原理和方法 ,实验结果表明 ,建立的电光取样仪的空间分辨率为The principle and method for measuring the spatial resolution of electrooptic sampling systems were introduced. According to the experimental results, the spatial resolution of the electrooptic sampling instrument established by the authors is 3 mum.

关 键 词：空间分辨率 电光取样 高斯分布 背面直接取样结构 测量 电光晶体 集成电路 光斑 

分 类 号：TN15[电子电信—物理电子学] TN407