厚膜微带技术研究  

作　　者：时国忠[1] 党耀石[1] 

机构地区：[1]航天机电集团公司二院二十五研究所

出　　处：《混合微电子技术》2001年第2期24-28,7,共6页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：本文论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径，并对其膜层的致密性作了进一步的研制，研制的样品在11GHz下进行微波性能测试，表现出良好的特性。

关 键 词：厚膜集成电路 微带电路 高频组件 

分 类 号：TN452[电子电信—微电子学与固体电子学]