基于微电子技术的微型化学与生物传感器  

作　　者：章宗穰[1] 吴霞琴[1] 张国雄[2] 朱建中[2] 

机构地区：[1]上海师范大学化学系,上海200234 [2]中科院上海冶金研究所,上海200050

出　　处：《化学传感器》2001年第3期13-14,共2页Chemical Sensors

基　　金：上海市教委重点学科基金

摘　　要：近二十年来，电极尺寸相当于或小于微米极的微电极技术已有了长足的发展，并显示了有别于常规电极的优越性能。以迅速发展着的微电子技术制作的微电极也为微型化学传感器和生物传感器的批量制作及商品化展现了引人注目的前景。以厚膜和薄膜技术制作的微电极已在微型传感器领域中得到了相当成功的应用，某些微型气体传感器和生物传感器已实现商品化。近年来，基于硅片各相异性三维刻蚀的微机械加工技术也已用于微型传感器的制作。

关 键 词：微电子技术 微型化学 生物传感器 基体微电极 表面修饰 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]