光学薄膜淀积的计算机仿真  

Computer simulation of optical thin film deposition

作　　者：杨明红[1] 刘劲松[1] 陈清明[1] 张波 

机构地区：[1]华中理工大学激光技术国家重点实验室,湖北武汉430074

出　　处：《光学仪器》2001年第5期15-18,共4页Optical Instruments

摘　　要：介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真 ,编写了基于 Matlab的计算机仿真程序。对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟 ,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致。Computer simulation of optical thin film deposition is explained in this paper.Computer emlutor based on Matlab is composed,real time simulations of coating system deposition with the method of reflectivity turning point and monitoring chip transmittance are done.The optical charactical curve by simulation is in tone with real measurement.

关 键 词：薄膜淀积 极值监控法 计算机模拟 光学薄膜 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理] TP391.9[理学—物理]