氮气直流辉光放电阴极鞘层区电子行为的蒙特卡罗模拟研究  

A Monte Carlo Simulation of Electron in Cathode Sheath of Nitrogen Glow Discharge

作　　者：张连珠[1] 于威[2] 

机构地区：[1]河北师范大学物理系,河北石家庄050091 [2]河北大学物理科学与技术学院,河北保定071002

出　　处：《河北大学学报（自然科学版）》2001年第3期239-243,共5页Journal of Hebei University(Natural Science Edition)

摘　　要：采用蒙特卡罗模拟对氮气直流辉光放电等电子体阴极鞘层区内电子的输运过程进行了研究 ,计算了阴极鞘层中电子的能量及角分布的空间变化 .模拟讨论了电子密度和电子平均能量在鞘层的轴向分布规律 .结果表明 :在鞘层电子主要以高能束的形式朝前散射 ,电子在输运过程中表现出的这一特征依赖于放电条件 ,电子碰撞电离和离解电离产生的次电子在鞘层边界附近迅速倍增 .The electron transport process in cathode sheath of nitrogen glow discharge is studied by using Monte Carlo simulation.Spatial variation of energy distribution and angular distribution are simulated for electron in cathode sheath,the electron number density and mean energy distribution are investigated as well.

关 键 词：辉光放电 阴极鞘层 蒙特卡罗模拟 电子输运 氮气 

分 类 号：O461.21[理学—电子物理学]