磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究  

The second anode action of the filtering duct and the equivalent circuit of the filtered cathode vacuum arc discharge

作　　者：王广甫[1,2] 张荟星[1] 

机构地区：[1]北京师范大学低能核物理研究所 [2]北京师范大学分析测试中心,北京100875

出　　处：《核技术》2001年第10期842-847,共6页Nuclear Techniques

基　　金：国家"8 6 3"计划 (86 3 - 715 - 0 0 8- 0 0 40 )

摘　　要：利用一台磁过滤真空弧沉积装置 ,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明 ,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用 ,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路 。It is justified first time by experiments that the magnetic filtering duct influences the cathode vacuum arc discharge by working as second anode of the MEVVA plasma source. An equivalent circuit for the filtered cathode vacuum arc discharge was derived, and used to explain and analyses the arc discharge phenomena with two anodes.

关 键 词：磁过滤管道 阴极真空弧 第二阳极作用 等效电路 真空弧放电 等离子体 磁过滤真空弧沉积装置 

分 类 号：TL628[核科学技术—核技术及应用]