交流光栅位置检测系统  

The Positional Detection System of Alternative Grating

作　　者：杨秀芳[1] 郭彦珍[1] 

机构地区：[1]西安理工大学机械与精密仪器工程学院,陕西西安710048

出　　处：《西安理工大学学报》2001年第3期301-304,共4页Journal of Xi'an University of Technology

摘　　要：研究了一种光调制交流光栅位置检测系统 ,它是一种交流系统 ,抗干扰能力强 ,细分电路简单 ,并可获得高的细分数 ,大大提高了光栅测试系统分辨率。The paper deals with a positional detection system of alternative grating working with light modulation. It is an alternative system with a powerful anti interference ability and simple detailing circuit so that the great number of subdvision can be gained,whereby the resolution of grating measurement system can be greatly improved.

关 键 词：光调制交流光栅 位置检测 锁相倍频细分 

分 类 号：TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]