微环境技术中灵敏跟踪系统的研究及设计  

The Research and Design of the Smart Traveler System in the Mini-environment Technology

作　　者：陈绍丽[1] 吴俊民 

机构地区：[1]江苏苏净集团有限公司环保分公司

出　　处：《微计算机信息》2001年第11期4-5,共2页Control & Automation

摘　　要：本文主要介绍超净技术领域中灵敏跟踪系统装置。This article mainly introduce the Smart Traveler System in the Super clean domain.The STS can be used to control the whole processing

关 键 词：集成电路 制造工艺 微环境技术 灵敏跟踪系统 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]