邻近效应校正函数及参数确定  

Determination of Proximity Effect Correction Function and Its parameters

作　　者：覃志国[1] 刘志杰[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第四十八研究所,长沙410111

出　　处：《微细加工技术》2001年第4期21-25,5,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨 。The proximity effect correction function in Gauss beam vector scan patterning is studied in detail.The algorithm of the parameters in the function are defined.

关 键 词：高斯圆束 矢量扫描 邻近效应 半导体集成电路 

分 类 号：TN405.7[电子电信—微电子学与固体电子学]