微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究  

STUDY ON THE SURFACE MICRO TOPOGRAPHY OF CRYOGENIC POLISHED CERAMIC GLASS

作　　者：张飞虎[1] 谢大纲[1] 赵清亮[1] 韩荣久[2] 裴舒[2] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学机械工程及自动化系,哈尔滨150001 [2]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出　　处：《机械工程学报》2002年第1期87-90,共4页Journal of Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(59775072)

摘　　要：揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定，重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷。The internal micro structure of ceramic glass, the crystalline phase and glass phase of its composition and the measurement for the crystalline size are revealed. Besides that, the surface topography and the micro surface flaw of the ultra-precision cryogenic polished ceramic glass are especially analyzed.

关 键 词：微晶玻璃 抛光 结晶相 玻璃相 表面形貌 表面粗糙度 

分 类 号：TQ171.684[化学工程—玻璃工业] TQ171.733[化学工程—硅酸盐工业]