热处理对溶胶-凝胶TiO_2薄膜的特性影响  

Effect of Heat Treatment on Properties of TiO_2 Films Prepared with Sol-gel Method

作　　者：S.M.Attia 吴广明[1] 马建华[1] 魏建东[1] 

机构地区：[1]同济大学波耳固体物理研究所,上海200092

出　　处：《同济大学学报（自然科学版）》2001年第11期1327-1330,共4页Journal of Tongji University:Natural Science

基　　金：国家自然科学基金资助项目 ( 6 99780 17;5 980 2 0 0 7) ;上海市教委重点学科资助项目 (JW99-TJ-0 3)

摘　　要：研究了热处理对溶胶 -凝胶法制备的TiO2 薄膜材料的晶体结构、致密化以及光学特性的影响 .结果表明TiO2 溶胶颗粒的最低结晶化温度为 40 0℃ ,晶体尺寸随着热处理温度的升高而增大 ;TiO2 薄膜的厚度随着热处理温度的升高从 12 0nm减小到 47nm ,相应的折射率则从 1.85增加到 2 .3;同时 ,TiO2 薄膜的孔洞率随着热处理温度的升高从 0 .2 3降低到 0 .12 2 ,密度则从 2 .83g·cm-3 增加到 3.73g·cm-3 .We present an investigation of the effect of heat treatment on density,crystal structure,optical properties of TiO 2 films prepared with the sol-gel method.The results show that TiO 2 gel begins to crystallize at around 400 ℃.The crystallite size increases with the increase of temperature.The refractive index increases with the increase of temperature and ranges from 1.85 to 2.3,while the thickness decreases and ranges from 120 nm to 47 nm.The density increases with the increase of temperature and ranges from 2.83 g·cm -3to 3.73 g·cm -3.The porosity decreases with the increase of temperature and ranges from 0.23 to 0.122.

关 键 词：溶胶-凝胶法 TIO2薄膜 薄膜密度 热处理 二氧化钛薄膜 晶体结构 光学特性 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]