光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计  

OPTICAL CHARACTERISTICS AND OPTIMUM DESIGN OF OPTRICAL EXICITED SELF-RESONANT POLYSILICON SENSOR

作　　者：李炳乾[1] 朱长纯[1] 刘君华 

机构地区：[1]西安交通大学电信学院电子工程系,西安710049 [2]广东省肇庆市风华路18号风华电子城研究中心,二楼肇庆526020

出　　处：《光子学报》2002年第1期79-82,共4页Acta Photonica Sinica

基　　金：国家自然科学基金 ( 6 9776 0 37);国家教育部博士点基金 ( 980 6 982 8);光电技术及系统教育部重点实验室;西安交通大学学科建设重点资助项目

摘　　要：建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型 ,利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析 。Multilayer model is established for self-resonant polysilicon sensor.Then,the optical characteristics of the sensor are analyse by this model in theoretical,and the thickness of the microbeam and the high of the cavity is optimized.

关 键 词：自谐振 菲涅耳系数矩阵 光电激励 光激 光拾 光学特性 优化设计 传感器 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]