TDR-70型单晶炉的研制  

Research and manufacture of The Puller TDR-70

作　　者：杨润[1] 李留臣[1] 

机构地区：[1]西安理工大学,陕西西安710048

出　　处：《电子工业专用设备》2001年第2期45-48,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了TDR - 70型单晶炉的性能参数及工作原理 ,结合拉制单晶的特殊工艺要求 ,分析了其主要结构及特点。The paper introduces the design characteristic and principium of the puller TDR-70.According to the special technics of crystal growing,interprets main structure and characteristic of the puller TDR-70.

关 键 词：单晶炉 结构 磁流体密封 翻板阀 TDR-70型 单晶控制 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]