基于阳极氧化法的纳米结构加工和纳米器件的制备  

Realization of Nanostructures by Anodic Oxidation and its Application to Nanodevices

作　　者：王振霖[1] 王太宏[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所,北京100080

出　　处：《微电子技术》2001年第5期17-21,共5页Microelectronic Technology

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :6 992 5 410 ;1990 40 15 )资助项目

摘　　要：本文报导了阳极氧化法实现纳米加工的技术研究和在纳米器件研究中的应用 ,特别讨论了实验装置的改进。The realization of nanostructures by anodic oxidation and its application to nanodevices are reported and discussed in the paper.An improved experimental apparatus,which is suitable to realize uniform nanostructures,is discussed in detail.

关 键 词：阳极氧化 纳米结构 纳米器件 加工工艺 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TN305[电子电信—物理电子学]