亚微米结构的可见光聚合全息制作  

Microfabrication of crystalline structures by holographic lithography combined with visible light photopolymerization

作　　者：王霞[1] 许剑锋[1] 苏慧敏[1] 何拥军[1] 江绍基[1] 汪河洲[1] 曾兆华[2] 陈用烈[2] 

机构地区：[1]中山大学超快速激光光谱学国家重点实验室,广州510275 [2]中山大学高分子研究所,广州510275

出　　处：《物理学报》2002年第3期527-531,共5页Acta Physica Sinica

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :199340 0 2和 198740 83);国家重点基础研究专项基金 (批准号:G19990 75 2 0 0 );国家教育部科学技术重点项目基金 (批准号 :990 96 );广东省自然科学基金资助的课题~~

摘　　要：报道用激光全息技术结合可见光光聚合制作周期结构的方法和物理机理 ;对多束激光相干产生的空间干涉光场进行了讨论 ;提供了一组激光束的偏振态的最佳组合 ,使激光全息技术制作理想的亚微米单晶结构更有效和快捷 .分析了曝光量与制作效果的关系 ,此法可实现小球自排无法实现的大幅度占空比调节 .与紫外光光聚合相比 ,可见光光聚合可在监视下调节 ,操作方便安全 .A microfabrication of periodic structures by holographic lithography technology combined with the visible laser-induced photopolymerization is developed in this paper. The physical mechanism about the interference of laser beams and the angles between the beams is discussed; and an optimal combination of polarizations of laser beams is reported. Also the occupation fraction can be adjusted in a large range, and the experimental results show that the holographic lithography technology combined with the visible laser-induced photopolymerization is an effective method for fabrication of sub-micrometer periodic structures.

关 键 词：激光全息技术 光学晶格 光子晶体 亚微米结构 可见光光聚合 周期结构 空间干涉光场 制作 

分 类 号：O438.1[机械工程—光学工程]