用于化学性机械研磨的超微粒氧化锰  

作　　者：杨守春 

出　　处：《现代材料动态》2002年第4期15-15,共1页Information of Advanced Materials

关 键 词：氧化锰 超微粒 化学性机械研磨 胶态化学方法 半导体 研磨剂 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学]