磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计  

The Design of the Spindle Speed Stablization System for the Disc Ser vo Photo Optical Etching Machine

作　　者：王晓兰[1] 罗敢[1] 王岳环 

机构地区：[1]华中科技大学计算机学院,武汉430074

出　　处：《计算机工程与应用》2002年第7期221-223,233,共4页Computer Engineering and Applications

基　　金：国家自然科学重点基金项目资助(编号:69133020)

摘　　要：该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。In this paper,the main courses of speed error of the spindle system for the disc servo photo etching machine are discussed,and the spindle speed stablization system is proved to be an important port to make the machine etching evenly.On those,a detailed design for improving the precision of spindle speed stablization is proposed.

关 键 词：稳速精度 单片机控制 磁盘伺服图形光刻机 主轴稳速系统 设计 磁盘驱动器 

分 类 号：TP333.35[自动化与计算机技术—计算机系统结构]