硅谐振微传感器中微现象测量技术  

Micro Phenomena Measurement to Silicon Resonant Microsensor

作　　者：周浩敏[1] 胡芳[1] 兰巍 邢维巍[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学自动化学院,北京100083

出　　处：《强度与环境》2002年第1期59-64,共6页Structure & Environment Engineering

基　　金：航空基础科学基金 (98I5 10 19)资助项目

摘　　要：主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper.The main testing tecnologies are:controling the excitation of the micro structure,measuring the supersonic resonant frequency,testing the freguency characteristic,determining the quality factor,overcomining the blight of electro thermo effect,restraining the capacitor coupled interference.

关 键 词：信息处理 微现象测量 谐振微传感器 品质因素 功率控制 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP216[自动化与计算机技术—控制科学与工程]