退火质子交换LiNbO_3光波导的工艺研究  

Study on annealed proton exchange LiNbO_3 waveguide technology

作　　者：夏翔[1] 袁一方[1] 朱琦莹[1] 傅长松[1] 陈抱雪[1] 陈林[1] 

机构地区：[1]上海理工大学光电学院,上海200093

出　　处：《光学仪器》2002年第2期27-31,共5页Optical Instruments

摘　　要：介绍了质子交换 Li Nb O3 光波导的制作工艺及光学特性测试 ,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺。This paper introduces the technology of proton exchanged LiNbO 3 waveguide and its optic property test.The requirements of making single mode optic waveguide and anneal technique are given.

关 键 词：IWBK法 退火质子交换 铌酸锂光波导 集成光学 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]