面临新发展的半导体设备产业  

作　　者：徐烁 

机构地区：[1]本刊通讯员

出　　处：《半导体技术》2002年第3期3-4,共2页Semiconductor Technology

关 键 词：半导体设备产业 信息技术 半导体技术 中国 国际合作 产业基地 

分 类 号：F426.63[经济管理—产业经济] N304.05[自然科学总论]