铁电／超导集成薄膜的微结构性质研究  

作　　者：于文学[1] 刘保亭 等 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所和凝聚态物理中心 [2]国家超导重点实验室和凝聚态物理中心

出　　处：《北京同步辐射装置年报》1998年第1期130-133,共4页

关 键 词：铁电/超导集成薄膜 微结构 直流/射频磁控溅射 X射线衍射 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]