氮氧混合气体高压脉冲电晕放电等离子体的分子束质谱诊断研究  

Diagnosis of High Voltage Pulsed Corona Discharge Induced N_2+O_2 Plasma by Molecular Beam Mass Spectrometry

作　　者：唐书凯[1] 王文春[1] 徐勇[1] 刘佳宏[1] 杨学锋[1] 吴彦[2] 

机构地区：[1]大连理工大学等离子体物理化学实验室,大连116024 [2]大连理工大学静电与特种电源研究所,大连116024

出　　处：《真空科学与技术》2002年第2期131-134,共4页Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (195 75 0 0 7);国家科委"九五"重点科技攻关项目 (96 910 0 2 0 1)子课题

摘　　要：利用具有三级差分抽气系统的分子束质谱仪为检测手段 ,对N2 ,O2 混合气体的线板式高压脉冲电晕放电等离子体阴极板区的正离子成分进行了诊断研究。实验结果表明 :在放电反应室N2 ,O2 混合气体压力 1330～ 332 5Pa ,峰值电压 4～10kV及放电重复频率 10～ 10 0Hz范围内 ,N+ 2 和O+ 流强相当 ,N+ 流强约为N+ 2 流强的 2～ 10倍。N+ ,N+ 2 和O+ 流强随脉冲峰值电压、放电重复频率的升高而增大 。The composition of the cations from the near cathode region was characterized with molecular beam mass spectroscopy (MBMS) in the wire plate,high voltage pulse corona discharge induced N 2+O 2 plasma.The results show that the cation current of N + 2 and O + are rather strong in a mixture pressure range of 1330-3325 Pa,with the peak voltage of 4-10 kV and the discharge repetition rate of 10-100 Hz.The cation current of N is 2-10 times higher than that of N 2.The cation current of N +,N + 2 and O + increases with the increase of the peak voltage and the pulsed discharge repetition rate.In the cation current pressure plot,a well defined peak can be clearly observed.

关 键 词：分子束质谱 高压脉冲电晕放电 离子检测 氮氧混合气体 等离子体 诊断 

分 类 号：O536[理学—等离子体物理]