无阿贝误差计量型原子力显微镜  

Metrological Atomic Force Microscope with Zero Abbe Offset

作　　者：赵克功[1] H.J.Buechner 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京100013 [2]伊尔门脑技术大学

出　　处：《计量学报》2002年第2期87-89,共3页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家自然科学基金 (5 0 0 5 113 0 90 5 )

摘　　要：中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作 ,于 1997年研制成功计量型原子力显微镜。限于当时的技术水平 ,它还存在有不可忽略的阿贝误差 ,特别是在x与y方向的阿贝误差可达 2～ 3nm。所以 ,在其测量空间范围内 ,两点间的测量不确定度为 :U =5nm +2× 10 - 4L(L为两点间的距离 )。本文报导 1999年以来在原基础上所作的改进 ,消除了 3个坐标方向上的阿贝误差 ,将测量不确定度提高到 :U =2nm +1× 10 - 4L。It was in 1997 that a metrological atomic force microscope (AFM) was developed. But there is an Abbe offset in the AFM and the Abbe offset in x and y directions are 2～3 nm. A new improvement is reported. The experiment results show that the uncertainty of the metrological atomic force microscope is improved from U =5 nm+2×10 -4 L to U =2 nm+1×10 -4 L (L is the distance between two points) as the Abbe offset has been successfully eliminated in three dimensions.

关 键 词：计量型原子力显微镜 阿贝误差 微型光纤传导平面激光干涉仪 测量不确定度 

分 类 号：TH742.9[机械工程—光学工程]