大面积微细结构的电火花加工  

Fabrication of Giant Area Microstructure by EDM

作　　者：彭良强[1] 伊福廷[1] 张菊芳[1] 韩勇[1] 张院春[2] 邹丽芸 

机构地区：[1]中国科学院 [2]北京市机电研究院

出　　处：《航空制造技术》2002年第5期47-48,共2页Aeronautical Manufacturing Technology

基　　金：中国科学院知识创新工程和北京市自然科学基金资助项目

摘　　要：采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 。EDM tool electrode with high aspect ratio is produced successfully by combining deep lithography with electroforming. On this basis, fabrication of giant area microstructure can be performed effectively by optimal micro EDM technique

关 键 词：电火花加工 微细加工 大面积微细结构 工具电极 

分 类 号：V261.61[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]