P^+注入KTP晶体形成平面光波导的特性研究  

PROPERTY STUDY OF PLANAR WAVEGUIDE FORMED BY P^+ ION IMPLANTATION INTO KTP

作　　者：路庆明[1] 陈峰[2] 王克明[2] 

机构地区：[1]山东大学化学与化工学院,济南250100 [2]山东大学物理与微电子学院,济南250100

出　　处：《山东大学学报（理学版）》2002年第1期45-47,共3页Journal of Shandong University(Natural Science)

基　　金：国家自然科学基金 ( 10 0 35 0 10 )资助项目

摘　　要：报导了能量为 2 .8MeV、剂量为 2× 10 15离子 /cm2 的P+ 离子注入形成的KTP平面光波导 .采用棱镜耦合法来测量光波导的暗模特性 ,发现了 6条TE模 .采用反射计算方法拟合在三种不同条件 (常温 ;2 0 0℃退火 30 0min ;77K冷处理 15 0min)The first MeV phosphor ion implanted planar optical waveguide in KTiOPO 4(KTP) is reported.The modes in the KTP waveguide were measured by dark mode coupling method using a model 2010 prism coupler.The refractive index profile was analyzed by reflectivity calculation method (RCM) before and after annealing at 200℃ for 30 min(in air)and 77K for 150 min (in liquid nitrogen),respectively.

关 键 词：KTP晶体 平面光波导 磷离子注入 折射率分布 非线性光学晶体 暗模特性 棱镜耦合法 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]