用于光学计量的新一代干涉仪  

作　　者：许仲仁[1] 

机构地区：[1]华中光电技术研究所，武汉430073

出　　处：《舰船光学》2002年第1期44-48,共5页

摘　　要：干涉仪广泛应用于光学计量领域，这里介绍的是V－100／P相移干涉仪，本文论述了干涉仪干涉测量的原理，对测试样品的要求，并给出相移干涉仪的典型装置，进而给出新一代干涉仪可达到的精度及影响其精度的因素，并列举出干涉仪的广泛应用领域。

关 键 词：光学计量 V-100/P 相移干涉仪 干涉测量 相长干涉 干涉图纹 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]