磷化物掺杂剂与钽的互相作用  

作　　者：王向东[1] 曹蓉江[1] 宋显申[1] 佟世昌[1] 毛襄萍 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院

出　　处：《稀有金属》1991年第6期424-428,共5页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：查明磷化物掺杂剂与钽基的互相作用,是了解掺杂剂影响钽阳极的比容、击穿电压和漏电流等性能的基础。为此,本文用高温俄歇谱仪和X射线衍射仪对掺杂试样进行了分析,发现在掺杂量≥0.5％时,其主要作用机理为:P_2O_5+2Ta=Ta_2O_5+2P,3Ta+P=Ta_3P。

关 键 词：钽 磷化物 掺杂 机理 

分 类 号：TF841.6[冶金工程—有色金属冶金]