A Novel Compact-Structure Arrayed-Waveguide Grating Device  

一种新颖结构紧凑的AWG器件(英文)

作　　者：江晓清[1] 李柏阳[1] 杨建义[1] 王明华[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程学系,杭州310027

出　　处：《Journal of Semiconductors》2002年第6期632-636,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家重点基础研究发展规划项目 (编号 :G19990 3 3 10 4);教育部高校骨干教师基金资助项目

摘　　要：Arrayed waveguide grating (AWG) device,a novel compact structure,is presented based on silicon on insulator (SOI) material.A total internal reflection (TIR) waveguide mirror is fabricated at the middle of each arrayed waveguide.An approach of compensating TE TM mode polarization is presented by using the phase difference,which is caused by TIR at the waveguide mirror.This AWG device has advantage for its small size and simple technigue of fabrication.The experimental results are given and the feasibility of fabrication is tested.给出一种基于 SOI材料结构紧凑的新颖 AWG器件 ,它是将一个全内反射波导镜插入原波导阵列中间 ,并且利用全内反射时产生的相位差进行 TE、TM模偏振补偿的方法 ,该器件具有尺寸小、制作工艺简单等特点 .同时 ,给出一些实验结果 ,实验结果证实这种结构的

关 键 词：AWG DWDM waveguide mirror polarization compensation 

分 类 号：TN814.6[电子电信—信息与通信工程]