衍射光学束匀滑器件的精细化设计  

Precise Design of Diffractive Optical Element for Beam Smoothing

作　　者：谭峭峰[1] 严瑛白[1] 金国藩[1] 邬敏贤[1] 徐端颐[1] 

机构地区：[1]清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084

出　　处：《中国激光》2002年第1期29-32,共4页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家高技术项目 (86 3 4 16 2 ) ;国家重点基础研究项目 973 G19990 330 ;国防科技重点实验室基金试点项目(JS77 9);中国博士后科学基金资助项目

摘　　要：修正了衍射光学束匀滑器件一维设计公式 ,利用爬山 模拟退火混合优化算法 ,进行了束匀滑器件的精细化设计 ,不仅获得了算法中焦面采样点上的束匀滑光强分布 ,还使焦面上其他非采样点也满足束匀滑光强分布。In this paper, the conventional formula, used to design diffractive optical element (DOE) for beam smoothing, is modified. By using the hybrid algorithm merging hill-climbing with simulated annealing, the precise design of the DOE for beam smoothing is completed. Besides the used sampling points in the optimization, the intensity distribution of any uncontrolled points and with any sampling interval on the focal plane is consistent with the demand for beam smoothing.

关 键 词：衍射光学器件 束匀滑 精细化设计 光强分布 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]