光激励微型悬臂梁谐振器  

Optically-Excited Micro-Cantilever Beam Resonator

作　　者：顾利忠[1] 蔡庆胜[1] 胡轶 

机构地区：[1]清华大学自动化系

出　　处：《应用激光》1991年第5期214-216,共3页Applied Laser

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：介绍一种全新的光激励微型悬臂梁谐振器,谐振器的振动可以用激光反馈干涉的方法进行测量。This paper presents a rovel optically-excited microcantilever beam resonator,thevibration of the resonator can be measured by using laser feedback interferometric method.

关 键 词：悬臂梁 谐振器 光激励 

分 类 号：TN753.2[电子电信—电路与系统]