操纵原子束的激光系统研究  

Study on Laser System of Manipulating Atom Beams

作　　者：陈元培[1] 陈旭南[1] 罗先刚[1] 李展[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209

出　　处：《微细加工技术》2002年第2期19-23,共5页Microfabrication Technology

基　　金：中科院知识创新基金资助项目 (A2K0 0 9) ;微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助

摘　　要：重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点 ,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定。用其结论设计出了焦距 1 93 .3mm ,F/ # =1 .9,λ =0 .67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率 1 0×的缩束光学系统。研究结果表明 ,该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作 ,并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点。Some design keys of a laser system, such as the choice of LD type, emitting power and laser wavelength etc.,are mainly analyzed and discussed. The system is used in the nanofabrication by controlling atom beam.Based on the results, a laser expanding collimating optical system with following parameters: F=199.3mm,F/#=1.9, λ=0.67μm and a laser compressing optical system with multiplying power 10× have been designed. The study results show that the laser systems can be used for fabricating nanometer patterns by controlling atoms.

关 键 词：原子束 激光系统 纳米加工 准直系统 微电子 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]