在线精密测量用新型光电仪  

作　　者：A.Wolthuis k.Buesing L.Bource G.Dalessi 杨光荣 

出　　处：《宇航计测技术》1991年第4期19-21,共3页Journal of Astronautic Metrology and Measurement

摘　　要：介绍一种新型高精密长度测量仪。使用一个光学自动聚焦头和一个无齿隙机械传动机构,其分辨力可达0.1μm;在40mm 测量范围内,其绝对准确度优于1μm。由于具有自动聚焦特性,它还能在线识别表面倾角和表面曲率。

关 键 词：光电仪 在线测量 测量 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]