低压射频等离子体实验研究  

On the Experiment of Low Press RF Plasma Body

作　　者：杜凯[1] 李明远[1] 

机构地区：[1]哈尔滨学院物理与电子工程系,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《哈尔滨学院学报》2002年第8期24-26,共3页Journal of Harbin University

基　　金：2002年黑龙江省教育厅科学技术研究指导项目(10513015);哈尔滨学院科研基金资助项目

摘　　要：文章提出了低压射频等离子体实验设计体系,应用飞行时间谱仪和Langmuir单探针,测得Langmuir型V-I曲线,其中包括等离子体温度信息。The paper discusses the design of the experiment of low press radio-frequency plasma, using TFS and Langmuir to get V-Icurve including temperature of plasma body.

关 键 词：低压射频 等离子体 实验设计 飞行时间谱仪 温度信息 

分 类 号：O53[理学—等离子体物理]