冷等离子体固体表面改性的物理化学机理  

The Physicochemical Mechanism of Modified Solid Surface of Cold Plasma

作　　者：谭凯[1] 

机构地区：[1]哈尔滨学院物理与电子工程系,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《哈尔滨学院学报》2002年第8期27-28,共2页Journal of Harbin University

基　　金：2002年黑龙江省教育厅科学技术研究指导项目(10513015);哈尔滨学院科研基金资助项目。

摘　　要：冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂。本文主要阐述了冷等离子体的物理化学性质,分析了氧等离子体对固体表面改性的物理化学机理,并指出目前冷等离子体应用存在的问题。The activity of cold plasma can lead to many kinds of chemistry reaction and physics mixture,with potential advantage for surface modification of material under lowtemperature. The paper analyzed the mechanism in cold plasma surface modification of solid material,and pointed out the current problems.

关 键 词：冷等离子体 固体表面改性 物理化学机理 

分 类 号：O53[理学—等离子体物理]