背压法氦质谱检测系统研制  

作　　者：许贵平[1] 刘卫[1] 高三杰[1] 

机构地区：[1]中国核动力研究设计院,四川成都610041

出　　处：《科技创新导报》2014年第17期57-58,共2页Science and Technology Innovation Herald

摘　　要：工程应用中需开展背压法氦质谱检测系统展开研究和设计开发,设计内容主要包括氦质谱检漏仪技术参数确定、预抽真空系统设计、真空容器设计以及控制系统设计等,对氦质谱检测系统的仪器灵敏度、系统灵敏度及系统反应时间等性能参数进行了测定,结果表明检测系统具有检测灵敏度高和检测效率高等优点,满足使用要求。

关 键 词：氦质谱检漏 背压法 预抽真空系统 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]