不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响  

The influence of non-conductive sample SEM images under different acceleration voltage

作　　者：曹水良[1] 梁志红[1] 尹平河[1] 

机构地区：[1]暨南大学分析测试中心,广东广州510632

出　　处：《暨南大学学报（自然科学与医学版）》2014年第4期357-360,共4页Journal of Jinan University(Natural Science & Medicine Edition)

基　　金：国家自然科学基金资助项目(81070279);广东省科技计划项目(2011B020303006)

摘　　要：利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像.结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富,更清晰;能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显,可以有效消除荷电现象和各种假象.To study the secondary electron（SE）images and energy selective backscattered（EsB）e-lectron images of atomic force microscope（AFM）probe and polystyrene balls under different acceleration voltage,Zeiss ultra55 field emission scanning electron microscopy（FSEM）was used.The results showed that samples could be directly observed under proper low acceleration voltage without sputtering gold film. The SE images had more surface details and more clearly images;EsB images had obvious composition contrast;Also,it could eliminate the charge effect and all kinds of pseudomorphs effectively.

关 键 词：场发射扫描电镜 二次电子图像 能量选择式背散射电子图像 低加速电压 荷电现象 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]