主、三镜离子束一体化加工散热方法研究  

The Research of Ion Beam Process Heat Dissipation and Integrated Processing for Main and Third Mirror

作　　者：许艳军[1] 赵宇宸[1,2] 沙巍[1] 张帆[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130033 [2]中国科学院大学,北京100033

出　　处：《长春理工大学学报（自然科学版）》2014年第4期28-31,共4页Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition)

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(86325113B)

摘　　要：离子束加工过程中,由于热能的传递会导致光学元件内部产生热应力和热变形,影响加工精度,严重时甚至会导致光学元件的损坏。本文提出了一种新型的主、三镜一体化离子束加工方式。在一体化加工的基础上利用UG/TMG有限元分析软件,对无散热和铜带散热两种加工状态下的光学元件表面温度场的分布进行了仿真分析。对比结果数据可以看出铜带散热可以使加工过程中最高温度降低10℃。最后通过实际加工过程,对热分析进行了验证。In ion beam process,due to the transfer of heat,the optical elements cause an internal thermal stress and thermal deformation which affect machining precision,and can even lead serious damage to the optical element. This paper presents a new ion beam integration processing method for main and third mirror. On the basis of integration method,use finite element analysis software UG/TMG to analysis and simulation optical element thermal distribution in two processing state which include no heat dissipation and cooper dissipation. Comparison with data which shows cooper heat dissipation reduce the maximum temperature during processing by 10℃. Finally,adopt of the actual process to verify the thermal analysis.

关 键 词：离子束 一体化加工 有限元 散热 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]