ZSX100e型X射线荧光光谱仪光路系统故障分析  

作　　者：陶迪[1] 邓赛文[1] 王笑笑 周超 

机构地区：[1]国家地质实验测试中心,北京100037 [2]浙江省地质矿产研究所,浙江杭州310007 [3]钢研纳克检测技术有限公司,北京100094

出　　处：《岩矿测试》2014年第5期773-774,共2页Rock and Mineral Analysis

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ050076)

摘　　要：x射线荧光光谱分析具有分析元素范围广、分析含量范围宽、分析精度高、重现性好等优点，属于非破坏性分析，可进行薄膜的组分和厚度的分析，易于实现自动化及在线分析，被广泛应用于电子和磁性材料、化学工业、陶瓷和水泥工业、钢铁工业、非铁合金、地质矿产、石油和煤、环境等领域。x射线荧光光谱仪基本由五大部分组成，即激发系统、分光系统、探测系统、仪器控制系统和数据处理系统等。分光系统是对来自样品元素的特征谱线进行分辨和限制，除了主要部件分光晶体外，还有视野光栏、准直器和衰减器等。分光系统中的视野光栏故障会造成光路系统初始化错误，以及x射线强度异常，会导致x射线荧光光谱仪不能正常工作。

关 键 词：光路系统 X射线荧光光谱仪 故障分析 X射线荧光光谱仪 X射线荧光光谱分析 分光系统 E型 非破坏性分析 

分 类 号：TH744.16[机械工程—光学工程]