激光聚焦式测头测量微振幅低频振动的设计与验证  

作　　者：刘一[1] 刘立群[1] 潘良明[1] 

机构地区：[1]上海市计量测试技术研究院,上海201203

出　　处：《工业计量》2014年第5期32-35,共4页Industrial Metrology

摘　　要：文章给出了利用激光聚焦式测头测量微幅低频振动的振幅和频率的实验结果和分析。在简要介绍激光聚焦式测头的原理及其测振装置的基础上,利用压电陶瓷驱动的微动平台模拟了频率10Hz的不同振幅正弦波和方波。研究结果表明,激光聚焦信号适用于测量微幅振动的振幅和频率,是一种值得研究与开发的微幅低频振动测量装置。

关 键 词：激光聚焦式测头 微幅低频振动 强线性 

分 类 号：TB936[一般工业技术—计量学]