倾角传感器的温度补偿研究  

Research of temperature compensation of inclination sensor

作　　者：于娜[1] 刘志远[1] 赵佳龙[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《传感器与微系统》2014年第10期14-16,共3页Transducer and Microsystem Technologies

摘　　要：半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度.介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿.经过试验验证结果表明：这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿,在-55～ 85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级,有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响.Temperature drift of parameters of semiconductor elements along with variation of temperature, will cause inclination sensor exists measurement deviation which impact accuracy. Introduce a temperature compensation method which carry out temperature compensation on differential capacitive inclination sensor based on acceleration principle, The test results show that this method can realize temperature compensation of inclination sensor and the temperature drift decline one order of magnitude at the temperature range of -55℃～ 85℃, and effectively reduces impact of environment temperature on characteristics of inclination sensor.

关 键 词：倾角传感器 加速度 温度补偿 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]