集成电路芯片管脚尺寸自动检测系统的状态分析  

The state analysis of automatic inspection system on intergratedcircuit chip pin size

作　　者：张新荣[1] 左建中[1] 张钢[1] 

机构地区：[1]天津大学,天津300072

出　　处：《制造业自动化》2002年第4期20-22,共3页Manufacturing Automation

基　　金：天津市自然科学基金重点项目

摘　　要：机器视觉自动检测系统的稳定性将直接影响产品检测的质量。本文根据随机过程的理论,利 用SAS软件对研究开发的集成用路芯片管脚尺寸检测系统的工作状态进行了分析测试。测试 结果表明,整个系统的测量结果是一个具有各态历经性的平稳随机过程,因此,我们利用一段 样本值就能估计整个过程的均值和标准差,从而获得整个过程的性质。The stability of an automated inspection system on machine vision will directly affect quality of product inspection. In this paper, the state of inspection system which is exploited on integrated circuit chip pin size is analyzed by SAS software based on stationary stochastic process theory The test results show, that inspection results of the system are a stationary stochastic process with ergodicity .So we can estimate mean and standard deviation of all process with some samples, and obtain property of all process.

关 键 词：集成电路芯片管脚尺寸自动检测系统 状态分析 视觉检测 平稳随机过程 各态历经性 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]