如何识别AFM成像过程中典型的针尖效应  

How to Identify the Typical Tips Shape Effect During the Process of AFM Imaging

作　　者：吴海华[1,2] 彭明发[1,2] 何小蝶[1,2] 

机构地区：[1]苏州大学功能纳米与软物质研究院,江苏苏州215123 [2]苏州大学纳米科学技术学院,江苏苏州215123

出　　处：《科技视界》2014年第30期6-6,共1页Science & Technology Vision

摘　　要：AFM图像是利用超细的探针在样品的表面通过机械扫描获得的,成像质量的高低,很大程度上由于探针的形状决定的。本文主要讨论AFM成像过程中探针的针尖效应对成像质量的影响。AFM images were obtained through the mechanical scanning by the use of super fine probe on the surface of samples, the quality of images largely depend on the shape of the probe. This article focuses on the tips shape effect in the process of AFM imaging.

关 键 词：原子力显微镜 针尖效应 曲率半径 侧壁角 

分 类 号：TP399[自动化与计算机技术—计算机应用技术]