MSM结构紫外探测器的研究  

作　　者：郭明[1] 侯丽新[2] 邢淑芝[1] 韩颖[1] 

机构地区：[1]长春理工大学光电信息学院 [2]吉林农业大学,吉林长春130000

出　　处：《现代交际》2014年第12期96-96,共1页Modern Communication

基　　金：吉林省教育厅"十一五"科学技术研究项目2010496

摘　　要：金属-半导体-金属(MSM)结构探测器结构简单,可避免材料因高掺杂所带来的困难,简化了加工、制备的过程。MSM型紫外探测器优点多:高增益、暗电流低、响应速率快、大带宽以及高灵敏度。但MSM型探测器工作在偏压状态下,工作偏压决定了探测器耗尽区的范围,因此,探测器的特性参数与工作偏压有关。本文主要从理论分析研究硅基MSM光电探测器结构原理及工艺特点。

关 键 词：紫外 光电探测器 金属-半导体-金属 

分 类 号：TN23[电子电信—物理电子学]